[发明专利]显示基板、显示装置及显示基板的制作方法有效
申请号: | 201710509455.X | 申请日: | 2017-06-28 |
公开(公告)号: | CN107316897B | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 晏国文;董正逵;费强;徐伟齐 | 申请(专利权)人: | 上海天马有机发光显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/786;H01L21/34 |
代理公司: | 11291 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 201201 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开一种显示基板、显示装置及显示基板的制作方法,以改善薄膜晶体管的性能,提高显示装置的产品品质。显示基板包括衬底基板以及设置于所述衬底基板上的底栅型薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括:有源层,包括沿远离所述衬底基板的方向载流子浓度依次减小的第一浓度层、第二浓度层和第三浓度层,所述第二浓度层包括用于与源极连接的第一连接部和用于与漏极连接的第二连接部,所述第三浓度层曝露出所述第一连接部和所述第二连接部;刻蚀阻挡层,设置于所述有源层远离所述衬底基板的一侧且不超出所述第三浓度层的边缘;源极和漏极,设置于所述刻蚀阻挡层远离所述衬底基板的一侧且分别与所述第一连接部和所述第二连接部连接。 | ||
搜索关键词: | 显示 显示装置 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种显示基板,包括衬底基板以及设置于所述衬底基板上的底栅型薄膜晶体管,其特征在于,所述薄膜晶体管包括:/n有源层,包括沿远离所述衬底基板的方向载流子浓度依次减小的第一浓度层、第二浓度层和第三浓度层,所述第二浓度层包括用于与源极连接的第一连接部和用于与漏极连接的第二连接部,所述第三浓度层曝露出所述第一连接部和所述第二连接部;/n刻蚀阻挡层,设置于所述有源层远离所述衬底基板的一侧且不超出所述第三浓度层的边缘;/n源极和漏极,设置于所述刻蚀阻挡层远离所述衬底基板的一侧且分别与所述第一连接部和所述第二连接部连接。/n
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