[发明专利]一种陶瓷靶材的制备方法

摘要

本发明的目的是提供一种[(Bi1/2Na1/2)0.9Ba0.1]0.955M0.03TiO3陶瓷靶材的制备方法，其中M为Ca、Sr和La中的一种；包括如下具体步骤(1)将起始原料Bi2O3、Na2CO3、BaCO3、TiO2、M2O3(或者MCO3)按照[(Bi1/2Na1/2)0.9Ba0.1]0.955M0.03TiO3相应的化学计量比称量；(2)将步骤(1)烘干的原料置于以酒精为介质、氧化锆球为磨球的尼龙罐中进行混料；(3)将步骤(2)制得的均匀浆料烘干，将其过筛并轻压成块状坯体；(4)将步骤(3)煅烧后的粉料研磨成细粉；(5)将步骤(4)过筛后的陶瓷粉料采用钢模手压成长方体样片；(6)将步骤(5)制成的陶瓷坯体置于马弗炉中。本发明提供的制备方法有利于后期制备出具有制冷温度效果好、制冷温区宽且接近室温的高性能[(Bi1/2Na1/2)0.9Ba0.1]0.955M0.03TiO3的铁电薄膜提供陶瓷靶材；本发明制备方法整个过程没有使用含铅的原料，是一种绿色制备技术。

主权项

一种陶瓷靶材的制备方法，具体为[(Bi1/2Na1/2)0.9Ba0.1](1‑1.5x)MxTiO3陶瓷靶材，其中M为Ca、Sr和La中的一种，其特征在于包括如下具体步骤：(1)称量前将起始原料Bi2O3、Na2CO3、BaCO3、TiO2、MO2/MCO3按照[(Bi1/2Na1/2)0.9Ba0.1]0.955M0.03TiO3相应的化学计量比称量然后置于烘箱中烘料2～3小时，烘料温度为100～120℃；其中M为Ca、Sr和La中的一种；(2)将步骤(1)烘干的原料置于以酒精为介质、氧化锆球为磨球的尼龙罐中进行混料，混料时间为3～4小时，制成均匀浆料；(3)将步骤(2)制得的均匀浆料烘干，将其过筛并轻压成块状坯体，以3～5℃每分钟速率升温至900～1000℃，在900～1000℃温度下煅烧5～6小时，制成煅烧粉料；(4)将步骤(3)煅烧后的粉料研磨成细粉，再次球磨12～13小时制成均匀浆料，将均匀的浆料烘干得到陶瓷粉料，然后将陶瓷粉料用120目的筛子进行过筛；(5)将步骤(4)过筛后的陶瓷粉料采用钢模手压成边长为5～6cm、厚度约5～6mm的长方体样片，将样片放入冷等静压机中，施加300～310MPa的保压压力，保压300～320s，制得[(Bi1/2Na1/2)0.9Ba0.1]0.955M0.03TiO3陶瓷坯体，其中M为Ca、Sr和La中的一种；(6)将步骤(5)制成的陶瓷坯体置于马弗炉中，以3～5℃每分钟速率升温至1100～1200℃，在1100～1200℃温度下烧结5～6小时，即制得[(Bi1/2Na1/2)0.9Ba0.1]0.955M0.03TiO3陶瓷靶材。