[发明专利]一种陶瓷靶材的制备方法

权利要求书

1.一种陶瓷靶材的制备方法，具体为[(Bi_1/2Na_1/2)_0.9Ba_0.1]_(1-1.5x)M_xTiO₃陶瓷靶材，其中M为Ca、Sr和La中的一种，其特征在于包括如下具体步骤：

(1)称量前将起始原料Bi₂O₃、Na₂CO₃、BaCO₃、TiO₂、MO₂/MCO3按照[(Bi_1/2Na_1/2)_0.9Ba_0.1]_0.955M_0.03TiO₃相应的化学计量比称量然后置于烘箱中烘料2～3小时，烘料温度为100～120℃；其中M为Ca、Sr和La中的一种；

(2)将步骤(1)烘干的原料置于以酒精为介质、氧化锆球为磨球的尼龙罐中进行混料，混料时间为3～4小时，制成均匀浆料；

(3)将步骤(2)制得的均匀浆料烘干，将其过筛并轻压成块状坯体，以3～5℃每分钟速率升温至900～1000℃，在900～1000℃温度下煅烧5～6小时，制成煅烧粉料；

(4)将步骤(3)煅烧后的粉料研磨成细粉，再次球磨12～13小时制成均匀浆料，将均匀的浆料烘干得到陶瓷粉料，然后将陶瓷粉料用120目的筛子进行过筛；

(5)将步骤(4)过筛后的陶瓷粉料采用钢模手压成边长为5～6cm、厚度约5～6mm的长方体样片，将样片放入冷等静压机中，施加300～310MPa的保压压力，保压300～320s，制得[(Bi_1/2Na_1/2)_0.9Ba_0.1]_0.955M_0.03TiO₃陶瓷坯体，其中M为Ca、Sr和La中的一种；

(6)将步骤(5)制成的陶瓷坯体置于马弗炉中，以3～5℃每分钟速率升温至1100～1200℃，在1100～1200℃温度下烧结5～6小时，即制得[(Bi_1/2Na_1/2)_0.9Ba_0.1]_0.955M_0.03TiO₃陶瓷靶材。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：步骤(1)中所述的烘料温度为110℃。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：步骤(2)中所述的混料时间为4小时。

4.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：步骤(3)中所述的升温的速率为3℃每分钟。

5.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：步骤(3)中所述的煅烧的时间为6小时。

6.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：步骤(4)中所述的再次球磨的时间为12小时。

7.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：步骤(5)中所述的保压压力为300Mpa。

8.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：步骤(5)中所述的保压的时间为300s。

9.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：步骤(6)中所述的升温的速率为3℃每分钟。

10.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：步骤(6)中所述的烧结的时间为6小时。