[发明专利]用于安放物品的装置和对准装置有效
申请号: | 201710459363.5 | 申请日: | 2017-06-16 |
公开(公告)号: | CN107146768B | 公开(公告)日: | 2018-03-23 |
发明(设计)人: | 方定昌;欧翔 | 申请(专利权)人: | 英特尔产品(成都)有限公司;英特尔公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 北京永新同创知识产权代理有限公司11376 | 代理人: | 杨胜军 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供一种用于安放物品的装置和对准装置。用于安放物品的装置包括支承板、沿着相互垂直的方向布置在支承板上的多个第一榫销和多个第二榫销、具有两个第一榫眼的两个第一支承模块、和具有两个第二榫眼的两个第二支承模块,两个第一支承模块能够通过所述第一榫销与所述第一榫眼之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板上,两个第二支承模块能够通过所述第二榫销与所述第二榫眼之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板上。根据本发明可以在采用尽可能少的支承模块的情况下限定更多不同尺寸的凹部,因而,可以显著地减少备件采购成本和备件管理成本,并且显著缩短停机时间、提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 用于 安放 物品 装置 对准 | ||
【主权项】:
一种用于安放物品的装置(1),包括:支承板(3),在所述支承板(3)上具有垂直相交的两条轴线(XX,YY);在所述支承板(3)上沿着所述两条轴线中的一条轴线(XX)距离所述两条轴线的交点相等距离地朝所述一条轴线的两端布置有多个第一榫销(5),在所述交点每侧上的相邻第一榫销(5)的中心之间的距离相等并且为第一距离;在所述支承板(3)上沿着所述两条轴线中的另一条轴线(YY)距离所述交点相等距离地朝所述另一条轴线两端布置有多个第二榫销(7),在所述交点每侧上的相邻第二榫销(7)的中心之间的距离相等并且为第二距离;分别具有两个第一榫眼(21)的两个第一支承模块(9),所述第一支承模块(9)具有底表面(13)和顶表面(15)、以及第一端(17)和第二端(19),所述两个第一榫眼(21)沿着从所述第一支承模块(9)的所述第一端(17)延伸到所述第一支承模块(9)的所述第二端(19)的直线形成在所述第一支承模块(9)的所述底表面(13)上、并且用于接收所述第一榫销(5),所述两个第一榫眼(21)的中心之间的距离为第三距离,所述第三距离是所述第一距离的整数倍,所述两个第一榫眼(21)到邻近的所述第一支承模块的端部的距离不同,沿着所述直线在所述第一支承模块(9)的所述底表面(13)上还形成有第一凹槽(23),所述第一榫眼(21)与相邻第一凹槽(23)之间的壁厚小于相邻第一榫销之间的间隙;分别具有两个第二榫眼的两个第二支承模块(11),所述第二支承模块(11)具有底表面和顶表面、以及第一端和第二端,所述两个第二榫眼沿着从所述第二支承模块(11)的所述第一端延伸到所述第二支承模块(11)的所述第二端的直线形成在所述第二支承模块(11)的所述底表面上、并且用于接收所述第二榫销(7),所述两个第二榫眼的中心之间的距离为第四距离,所述第四距离是所述第二距离的整数倍,所述两个第二榫眼到邻近的所述第二支承模块的端部的距离不同,沿着所述直线在所述第二支承模块(11)的所述底表面上还形成有第二凹槽,所述第二榫眼与相邻第二凹槽之间的壁厚小于相邻第二榫销之间的间隙;其中,所述两个第一支承模块(9)能够通过所述第一榫销(5)与所述第一榫眼(21)之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板(3)上,所述两个第二支承模块(11)能够通过所述第二榫销(7)与所述第二榫眼之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板上。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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