[发明专利]一种柔性结构支撑衬底的制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性结构支撑衬底的制备方法，该方法是将铁氟龙薄膜贴在需要粘结的外延片表面，利用铁氟龙薄膜的极度耐腐蚀性及热塑性，确定特定厚度的薄膜，在高温下进行处理，薄膜在高温下呈现微熔特性，高温处理完毕后再进行降温处理，又将重新转为固态，从而将薄膜与外延片进行粘接，在衬底剥离过程中起到支撑的作用。本发明方法简单易行，重复性优良。更重要的是，薄膜在保持对外延功能结构层进行支撑的情况下能保证柔韧性，满足柔性器件应用场合的需要。

主权项

一种柔性结构支撑衬底的制备方法，其特征在于：该方法是将铁氟龙薄膜贴在需要粘结的外延片表面，利用铁氟龙薄膜的极度耐腐蚀性及热塑性，确定特定厚度的薄膜，在高温下进行处理，薄膜在高温下呈现微熔特性，高温处理完毕后再进行降温处理，又将重新转为固态，从而将薄膜与外延片进行粘接，在衬底剥离过程中起到支撑的作用；其包括以下步骤：1)将生长完毕的外延片进行有机清洗及表面氧化物清洗，以提高金属层在外延片表面的粘合力，其中，所述外延片包括从下至上依次层叠设置的衬底、AlAs牺牲层、器件功能结构层；2)将清洗完毕的外延片移至电子束蒸发设备，采用电子束蒸发的方式进行金属蒸镀，蒸镀完毕进行快速热退火，使之形成欧姆接触；3)将铁氟龙薄膜贴至已进行金属制备的外延片表面；4)将贴好的外延片放至退火炉进行高温处理；5)冷却后得到粘接完好的外延片，此时能够进行后续衬底剥离过程，粘接完好的薄膜将对剥离下的柔性结构提供良好的支撑。