[发明专利]一种柔性结构支撑衬底的制备方法

权利要求书

1.一种柔性结构支撑衬底的制备方法，其特征在于：该方法是将铁氟龙薄膜贴在需要粘结的外延片表面，利用铁氟龙薄膜的极度耐腐蚀性及热塑性，确定特定厚度的薄膜，在高温下进行处理，薄膜在高温下呈现微熔特性，高温处理完毕后再进行降温处理，又将重新转为固态，从而将薄膜与外延片进行粘接，在衬底剥离过程中起到支撑的作用；其包括以下步骤：

1)将生长完毕的外延片进行有机清洗及表面氧化物清洗，以提高金属层在外延片表面的粘合力，其中，所述外延片包括从下至上依次层叠设置的衬底、AlAs牺牲层、器件功能结构层；

2)将清洗完毕的外延片移至电子束蒸发设备，采用电子束蒸发的方式进行金属蒸镀，蒸镀完毕进行快速热退火，使之形成欧姆接触；

3)将铁氟龙薄膜贴至已进行金属制备的外延片表面；

4)将贴好的外延片放至退火炉进行高温处理；

5)冷却后得到粘接完好的外延片，此时能够进行后续衬底剥离过程，粘接完好的薄膜将对剥离下的柔性结构提供良好的支撑。

2.根据权利要求1所述的一种柔性结构支撑衬底的制备方法，其特征在于：在步骤1)中，进行的有机清洗及表面氧化物清洗依次包括：丙酮超声清洗5-7分钟；异丙醇超声清洗5-7分钟；稀释的盐酸溶液50秒至70秒，稀释配比为HCl：H₂O＝1：1；BOE溶液50秒至70秒。

3.根据权利要求1所述的一种柔性结构支撑衬底的制备方法，其特征在于：在步骤1)中，所述AlAs牺牲层厚度为5-15nm。

4.根据权利要求1所述的一种柔性结构支撑衬底的制备方法，其特征在于：在步骤1)中，所述金属层中的金属选择有金粒、金锗镍粒、银粒、铂金粒，依据生长的外延层接触层种类和掺杂类型而定。

5.根据权利要求1所述的一种柔性结构支撑衬底的制备方法，其特征在于：在步骤2)中，蒸镀时，真空度控制在1E-7Torr之上，蒸镀速率设定在2.5埃每秒至3.5埃每秒，蒸镀厚度为3微米至5微米。

6.根据权利要求1所述的一种柔性结构支撑衬底的制备方法，其特征在于：在步骤3)中，所述铁氟龙薄膜的厚度为50微米，形状为圆形，直径比待剥离的外延片直径大3厘米。

7.根据权利要求1所述的一种柔性结构支撑衬底的制备方法，其特征在于：在步骤4)中，高温处理温度为340度，且通以氮气气氛，流量2L/min，高温处理时间为2分钟。