[发明专利]大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法

摘要

本发明涉及一种大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法，属于薄膜沉积技术领域。解决现有技术中传统的超声波清洗和人工擦拭方式已不能满足2m以上量级大口径SiC反射镜镀膜前清洗要求的技术问题。本发明提供的大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法利用旋转毛刷清洗和高压喷淋清洗相结合的清洗方式替代传统超声波清洗和人工擦拭，通过采用安全合理的清洗工艺方法和多项对清洗机构的精密控制措施，极大降低了清洗工艺的风险，实现了对大口径、复杂轻量化结构的SiC反射镜镜面的安全可靠的有效清洗和干燥，大大减轻了人工负担，同时提高了工作效率，满足了国内大口径SiC反射镜镀膜对相关应用的迫切需求，填补了国内相关领域的技术空白。

主权项

一种大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将反射镜镜体固定在移动操作台上；步骤2、激光测距传感器校验当反射镜镜体定位后，控制横移机械臂慢速沿镜面径向往复一次，如果在往复运动过程中，激光测距传感器的反馈数值一直正常，则表示激光测距传感器的安装角度能匹配当前镜面；否则需调节激光测距传感器的安装角度，直至前述反馈数值一直正常；步骤3、采用旋转毛刷和高压喷淋的方式同时对反射镜镜面进行清洗剂喷淋和刷洗；开启移动操作台的旋转功能，然后由横向机械臂及垂直机械臂控制旋转毛刷在反射镜镜面渐进扫描，同时启动旋转毛刷与高压喷淋功能，实现对镜面的清洗；当旋转毛刷清洗了整个镜面后，将旋转毛刷升起并移出镜面；步骤4、采用旋转毛刷和高压喷淋的方式同时对反射镜镜面进行纯水喷淋和刷洗；开启移动操作台的旋转功能，然后由横向机械臂及垂直机械臂控制旋转毛刷在反射镜表面渐进扫描，同时启动旋转毛刷与高压喷淋功能，实现对镜面的清洗；当旋转毛刷清洗了整个镜面后，将旋转毛刷升起并移出镜面；步骤5、最终高压喷淋清洗将用于高压喷淋的喷淋管降落至镜面附近区域，对镜面用纯水做最终喷淋冲洗，同时仍保持镜体旋转，完成后再将喷淋管升回原位；步骤6、高压风刀吹干将高压风刀装置降落至镜面附近区域，对镜体表面用热风做吹扫风干，完成后再将高压风刀装置升回原位，完成反射镜镜面清洗。