[发明专利]大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法在审

专利信息
申请号: 201710431338.6 申请日: 2017-06-09
公开(公告)号: CN107159606A 公开(公告)日: 2017-09-15
发明(设计)人: 申振峰;高劲松 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: B08B1/04 分类号: B08B1/04;B08B3/02;F26B3/06
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 代理人: 南小平
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 口径 碳化硅 反射 镀膜 自动 清洗 工艺 方法
【权利要求书】:

1.一种大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1、将反射镜镜体固定在移动操作台上;

步骤2、激光测距传感器校验

当反射镜镜体定位后,控制横移机械臂慢速沿镜面径向往复一次,如果在往复运动过程中,激光测距传感器的反馈数值一直正常,则表示激光测距传感器的安装角度能匹配当前镜面;否则需调节激光测距传感器的安装角度,直至前述反馈数值一直正常;

步骤3、采用旋转毛刷和高压喷淋的方式同时对反射镜镜面进行清洗剂喷淋和刷洗;

开启移动操作台的旋转功能,然后由横向机械臂及垂直机械臂控制旋转毛刷在反射镜镜面渐进扫描,同时启动旋转毛刷与高压喷淋功能,实现对镜面的清洗;当旋转毛刷清洗了整个镜面后,将旋转毛刷升起并移出镜面;

步骤4、采用旋转毛刷和高压喷淋的方式同时对反射镜镜面进行纯水喷淋和刷洗;

开启移动操作台的旋转功能,然后由横向机械臂及垂直机械臂控制旋转毛刷在反射镜表面渐进扫描,同时启动旋转毛刷与高压喷淋功能,实现对镜面的清洗;当旋转毛刷清洗了整个镜面后,将旋转毛刷升起并移出镜面;

步骤5、最终高压喷淋清洗

将用于高压喷淋的喷淋管降落至镜面附近区域,对镜面用纯水做最终喷淋冲洗,同时仍保持镜体旋转,完成后再将喷淋管升回原位;

步骤6、高压风刀吹干

将高压风刀装置降落至镜面附近区域,对镜体表面用热风做吹扫风干,完成后再将高压风刀装置升回原位,完成反射镜镜面清洗。

2.根据权利要求1所述的大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法,其特征在于,采用激光测距装置对清洗机构进行精密控制,根据实际需要在清洗过程中使旋转毛刷盘始终与镜面保持一特定距离,既能实现刷洗工艺又可避免其与镜面发生摩擦碰撞。

3.根据权利要求1所述的大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法,其特征在于,利用精密机械结构和程控软件控制旋转毛刷的水平移动和升降,在控制软件中根据反射镜镜面曲面参数,设定旋转毛刷下降的界限,使毛刷盘只能在安全距离内升降,防止由于误操作导致损伤镜面的情况发生。

4.根据权利要求1所述的大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法,其特征在于,步骤3和4中所述移动操作台的转速为0.5-5r/min。

5.根据权利要求1所述的大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法,其特征在于,步骤3和4中所述旋转毛刷为旋转圆盘式或旋转滚轮式,其刷毛长度为5~15cm,转速为50-150r/min。

6.根据权利要求1所述的大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法,其特征在于,步骤3和4中用于高压喷淋的喷嘴沿半径方向排布,根据镜子实际情况适当设置喷嘴与镜面间距离,喷淋时旋转镜体或以镜面中心为圆心旋转喷淋管即可实现对整个镜面的喷淋清洗。

7.根据权利要求6所述的大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法,其特征在于,所述喷嘴与镜面之间的距离为30~80mm。

8.根据权利要求1所述的大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法,其特征在于,步骤3和4中所述高压喷淋的压力0.3-0.6MPa,喷淋流量10-20l/min。

9.根据权利要求1所述的大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法,其特征在于,步骤6中所述高压风刀装置采用长条形封嘴形式或采用小风嘴进行直线型排布方式,高压风刀沿镜面半径方向布置,吹干时旋转镜体或以镜面中心为圆心旋转高压风刀即可实现对整个镜面的快速干燥。

10.根据权利要求1或9所述的大口径碳化硅反射镜镀膜镜面自动清洗工艺方法,其特征在于,步骤6中对镜体表面用热风做吹扫风干时的出口风速为>80m/s,温度为40-60℃。

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