[发明专利]阵列基板及其制备方法和显示装置在审
申请号: | 201710417593.5 | 申请日: | 2017-06-02 |
公开(公告)号: | CN108987411A | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 张锋;吕志军;刘文渠;董立文;张世政;党宁 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗瑞芝;陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明属于显示技术领域,具体涉及一种阵列基板、阵列基板的制备方法和显示装置。该阵列基板包括依次设置在基板上的第一膜层和第二膜层,所述第二膜层划分为第二膜层去除区和第二膜层保留区,所述第一膜层在对应着所述第二膜层去除区的区域设置有垫高部。本发明中的阵列基板,能有效解决在阵列基板制备工艺中某一层图形在湿法刻蚀过程中,因存在刻蚀液和图形材料在一些封闭空间或两线形成的狭窄间隙内容易出现浸润不够彻底,影响最终的阵列基板的良率的问题。 | ||
搜索关键词: | 阵列基板 膜层 第一膜层 显示装置 去除区 制备 封闭空间 区域设置 湿法刻蚀 图形材料 狭窄间隙 依次设置 有效解决 制备工艺 保留区 垫高部 刻蚀液 线形成 基板 良率 浸润 | ||
【主权项】:
1.一种阵列基板,其特征在于,包括依次设置在基板上的第一膜层和第二膜层,所述第二膜层划分为第二膜层去除区和第二膜层保留区,所述第一膜层在对应着所述第二膜层去除区的区域设置有垫高部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的