[发明专利]面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构

摘要

本发明为一种面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构，解决了平台振动对海洋湍流探测干扰极大等技术瓶颈问题。本发明包括底座、湍流传感器和补偿传感器，湍流传感器由第一中空壳体、第一传感芯片、保护罩和保护柱组成；补偿传感器由第二中空壳体、第二传感芯片和密封导流罩组成，并且第一中空壳体、第一传感芯片与第二中空壳体、第二传感芯片完全相同。本发明采用具有共模抑制的振动补偿方法，在不改动湍流传感器结构的基础上，利用补偿传感器的对照效果，实现了消除平台振动信号的目的，具有较高的准确性和可行性。

主权项

1.一种面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构，其特征在于：包括底座（1）、湍流传感器（2）和补偿传感器（3），湍流传感器（2）和补偿传感器（3）并列间隔的安置于底座（1）上；湍流传感器（2）包括第一中空壳体（4），第一中空壳体（4）侧壁设置4个出水孔（5），第一中空壳体（4）的顶端腔口处安装第一传感芯片（6），第一传感芯片（6）外加盖保护罩（7），且第一传感芯片（6）的纤毛穿出保护罩（7），第一中空壳体（4）的顶端面上围绕保护罩（7）均布设置4根保护杆（8），并且保护杆（8）和出水孔（5）位置对应；补偿传感器（3）包括第二中空壳体（9），第二中空壳体（9）的顶端腔口处安装第二传感芯片（10），第二中空壳体（9）的顶端封装密封导流罩（11），密封导流罩（11）为子弹头状的流线型设计；湍流传感器（2）的第一中空壳体（4）、第一传感芯片（6）与补偿传感器（3）的第二中空壳体（9）、第二传感芯片（10）完全相同。