[发明专利]具有光调控结构的钙钛矿薄膜及光学器件的制备方法有效
申请号: | 201710403440.5 | 申请日: | 2017-06-01 |
公开(公告)号: | CN107316940B | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 唐建新;许瑞鹏;魏健;李艳青 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/42;H01L51/44;H01L51/30;H01L51/46;B82Y30/00 |
代理公司: | 32257 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 冯瑞 |
地址: | 215000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有光调控结构的钙钛矿薄膜的制备方法:提供一基底和一具有纳米凹凸结构的模板,模板为软性材料;在基底表面涂覆钙钛矿前驱体溶液,真空处理10‑30min,以挥发部分溶剂,得到处理过的基底;将模板覆盖在处理过的基底上,然后在5‑10bar压强下进行共退火结晶,取下模板,得到生长于基底表面的钙钛矿薄膜。本发明还提供了一种光电器件的制备方法,采用上述钙钛矿薄膜的制备方法,基底预涂覆有导电电极层和第一传输层,并在钙钛矿薄膜表面自下而上依次修饰第二传输层、缓冲层以及金属电极,其中,钙钛矿薄膜、第二传输层、缓冲层以及金属电极之间的结构互补。本发明利用微纳模板控制钙钛矿的定向生长,直接在钙钛矿薄膜中引入光调控纳米结构。 | ||
搜索关键词: | 有光 调控 结构 钙钛矿 薄膜 光学 器件 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种具有光调控结构的钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:/n(1)提供一基底和一具有纳米凹凸结构的模板,所述模板为软性材料;纳米凹凸结构周期在500nm及以下,槽深在50-900nm之间,占空比在0.3-0.7之间;所述软性材料为聚二甲基硅烷、紫外光固化胶或全氟聚醚-二甲基丙烯酸氨基甲酸酯;/n(2)在所述基底表面涂覆钙钛矿前驱体溶液,在真空度为1-100Pa条件下真空处理10-30min,以挥发部分溶剂,得到处理过的基底;钙钛矿的分子式为ABX
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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