[发明专利]具有光调控结构的钙钛矿薄膜及光学器件的制备方法有效

专利信息
申请号: 201710403440.5 申请日: 2017-06-01
公开(公告)号: CN107316940B 公开(公告)日: 2019-12-13
发明(设计)人: 唐建新;许瑞鹏;魏健;李艳青 申请(专利权)人: 苏州大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/42;H01L51/44;H01L51/30;H01L51/46;B82Y30/00
代理公司: 32257 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 冯瑞
地址: 215000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种具有光调控结构的钙钛矿薄膜的制备方法:提供一基底和一具有纳米凹凸结构的模板,模板为软性材料;在基底表面涂覆钙钛矿前驱体溶液,真空处理10‑30min,以挥发部分溶剂,得到处理过的基底;将模板覆盖在处理过的基底上,然后在5‑10bar压强下进行共退火结晶,取下模板,得到生长于基底表面的钙钛矿薄膜。本发明还提供了一种光电器件的制备方法,采用上述钙钛矿薄膜的制备方法,基底预涂覆有导电电极层和第一传输层,并在钙钛矿薄膜表面自下而上依次修饰第二传输层、缓冲层以及金属电极,其中,钙钛矿薄膜、第二传输层、缓冲层以及金属电极之间的结构互补。本发明利用微纳模板控制钙钛矿的定向生长,直接在钙钛矿薄膜中引入光调控纳米结构。
搜索关键词: 有光 调控 结构 钙钛矿 薄膜 光学 器件 制备 方法
【主权项】:
1.一种具有光调控结构的钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:/n(1)提供一基底和一具有纳米凹凸结构的模板,所述模板为软性材料;纳米凹凸结构周期在500nm及以下,槽深在50-900nm之间,占空比在0.3-0.7之间;所述软性材料为聚二甲基硅烷、紫外光固化胶或全氟聚醚-二甲基丙烯酸氨基甲酸酯;/n(2)在所述基底表面涂覆钙钛矿前驱体溶液,在真空度为1-100Pa条件下真空处理10-30min,以挥发部分溶剂,得到处理过的基底;钙钛矿的分子式为ABX
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