[发明专利]接合垫结构有效
| 申请号： | 201710357144.6 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN107403779B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | O.黑尔蒙德;P.伊尔西格勒;S.施密特;M.赛德-施密特 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/488 | 分类号： | H01L23/488;H01L21/60 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;杜荔南 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种接合垫结构包括覆于衬底上面的第一氧化物层。多个粘合结构被形成在第一氧化物层上方。第二氧化物层被形成在所述多个粘合结构和第一氧化物层上方。形成在第二氧化物层的表面区域内的多个接触器开口中的每个接触器开口包括一侧或多侧并且在所述多个粘合结构中的对应粘合结构的顶表面的至少一部分上方对准。在表面区域内形成阻挡层，该阻挡层在第二氧化物层上方并且在所述多个接触器开口内并且在所述多个粘合结构中的对应粘合结构的顶表面的至少一部分上方。金属层被形成在阻挡层上方。 | ||
| 搜索关键词： | 接合 结构 | ||
【主权项】：
一种接合垫结构，包括：第一氧化物层，覆于衬底上面；多个粘合结构，形成在第一氧化物层上方；第二氧化物层，形成在所述多个粘合结构和第一氧化物层上方，其中形成在第二氧化物层的表面区域内的多个接触器开口中的每个接触器开口包括一侧或多侧并且在所述多个粘合结构中的对应粘合结构的顶表面的至少一部分上方对准；阻挡层，形成在所述表面区域内并且在第二氧化物层上方并且在所述多个接触器开口内并且在所述多个粘合结构中的对应粘合结构的顶表面的所述至少一部分上方；以及金属层，形成在阻挡层上方。
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