[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201710324502.3 | 申请日: | 2017-05-10 |
公开(公告)号: | CN107527954B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 佐佐木俊成;渡壁创;花田明纮;盐川真里奈 | 申请(专利权)人: | 株式会社日本显示器 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L27/12 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 徐殿军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种可靠性较高的半导体装置。半导体装置具有:氧化物半导体层;氧化物半导体层的上方的栅极电极;氧化物半导体层与栅极电极之间的栅极绝缘层;第1绝缘层,处于氧化物半导体层的上方,设有第1开口部;布线,处于第1绝缘层上,包含铝层,经由第1开口部电连接于氧化物半导体层;阻挡层,将第1绝缘层上、布线上及布线的侧面覆盖,包含氧化铝;以及阻挡层上的有机绝缘层。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,具有:氧化物半导体层;上述氧化物半导体层的上方的栅极电极;上述氧化物半导体层与上述栅极电极之间的栅极绝缘层;第1绝缘层,处于上述氧化物半导体层的上方,设有第1开口部;布线,处于上述第1绝缘层上,包含铝层,经由上述第1开口部电连接于上述氧化物半导体层;阻挡层,将上述第1绝缘层上、上述布线上及上述布线的侧面覆盖,包含氧化铝;以及上述阻挡层上的有机绝缘层。
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