[发明专利]半导体装置有效

专利信息
申请号: 201710324502.3 申请日: 2017-05-10
公开(公告)号: CN107527954B 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 佐佐木俊成;渡壁创;花田明纮;盐川真里奈 申请(专利权)人: 株式会社日本显示器
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L27/12
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 徐殿军
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种可靠性较高的半导体装置。半导体装置具有:氧化物半导体层;氧化物半导体层的上方的栅极电极;氧化物半导体层与栅极电极之间的栅极绝缘层;第1绝缘层,处于氧化物半导体层的上方,设有第1开口部;布线,处于第1绝缘层上,包含铝层,经由第1开口部电连接于氧化物半导体层;阻挡层,将第1绝缘层上、布线上及布线的侧面覆盖,包含氧化铝;以及阻挡层上的有机绝缘层。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
一种半导体装置,具有:氧化物半导体层;上述氧化物半导体层的上方的栅极电极;上述氧化物半导体层与上述栅极电极之间的栅极绝缘层;第1绝缘层,处于上述氧化物半导体层的上方,设有第1开口部;布线,处于上述第1绝缘层上,包含铝层,经由上述第1开口部电连接于上述氧化物半导体层;阻挡层,将上述第1绝缘层上、上述布线上及上述布线的侧面覆盖,包含氧化铝;以及上述阻挡层上的有机绝缘层。
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