[发明专利]段差测量方法及装置以及液晶显示基板制造方法在审
| 申请号: | 201710303975.5 | 申请日: | 2017-05-03 |
| 公开(公告)号: | CN106990566A | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
| 发明(设计)人: | 叶巧云 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01B21/30 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 | 代理人: | 钟子敏 |
| 地址: | 518006 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种段差测量方法,包括在待测物体表面选取测量基准点,将测量基准点的值设置为对照值;选取待测量的点位;测距仪器移动到待测量的点位的正上方;测距仪器以待测量的点位为起点,分别向至少两个方向移动并测量;将测距仪器在移动过程中测得的数据与对照值进行对比并记录或输出比对结果。通过上述方式,本发明能够同时监控物体表面至少两个方向上的平整度。本发明还公开了一种段差测量装置、一种液晶显示基板制造方法。 | ||
| 搜索关键词: | 测量方法 装置 以及 液晶显示 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种段差测量方法,其特征在于,包括:在待测物体表面选取测量基准点,并将所述测量基准点的值设置为对照值;选取至少一个待测量的点位;测距仪器移动到待所述测量的点位的正上方;所述测距仪器以所述待测量的点位为起点,分别向至少两个方向移动并测量;将所述测距仪器在移动过程中测得的数据与所述对照值进行对比并记录或输出比对结果。
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