[发明专利]段差测量方法及装置以及液晶显示基板制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及领域液晶显示基板，特别是涉及段差测量方法及装置以及液晶显示基板制造方法。

背景技术

传统的CF(Color filter，彩色滤光片)制作工艺设计模式较为简单，RGB膜面下没有任何膜层，膜面平坦，仅有膜边因为与光阻交叠，产生牛角影响膜面平整度，因此，在制程监控时，只需要单方向监控即可满足需求。

COA(Color Filter on Array，彩色滤光片整合于阵列基板)工艺中CF制作工艺设计模式较为复杂，在CF制程开始前，基板上已经进行了4道工序，膜面平坦度恶化，同时子像素会在X或Y方向上开线，膜面水平变异增加，仅仅在一个方向上监控膜面平整度已经无法满足需求。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种段差测量方法，能够更全面地监控液晶显示基板在制程中的平整度。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种段差测量方法，包括：在待测物体表面选取测量基准点，并将所述测量基准点的值设置为对照值；选取至少一个待测量的点位；测距仪器移动到待所述测量的点位的正上方；所述测距仪器以所述待测量的点位为起点，分别向至少两个方向移动并测量；将所述测距仪器在移动过程中测得的数据与所述对照值进行对比并记录或输出比对结果。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种段差测量装置，包括：测距仪器，所述测距仪器用于在移动过程中测量待测物体表面在行程距离内的高度；控制电路，耦接所述测距仪器，所述控制电路用于控制所述测距仪器的所述待测物体表面的移动；对所述测距仪器测量出的高度与测量基准点的高度值进行对比，并判断差值是否超过阈值；输出电路，耦接所述控制电路，所述输出店里输出判断差值是否超过阈值的结果。

为解决上述技术问题，本发明采用的还有一个技术方案是：一种液晶显示基板制造方法，在完成COA基板的每一道制程之后，都要进行上述段差测量方法。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明可以一次性监控至少两个方向上监控液晶显示基板在制程中的平整度，可以提高工作效率并保证产品质量。

附图说明

图1是本发明段差测量方法实施例的流程示意图；

图2是本发明段差测量装置实施例的框架示意图；

图3是本发明液晶显示基板制造方法的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本发明保护的范围。

请参阅图1，图1是本发明段差测量方法的流程示意图。本发明实段差测量方法包括：

S101:在待测物体表面选取测量基准点，并将所述测量基准点的值设置为对照值；

具体地说，待测物体的表面不局限于平面，可以是球面、曲面、或者凹凸不平的表面。测量基准点可以是一个或者多个，针对不同的检测需求选取不同的测量基准点。一般来说是选择待测物体的基体表面这种易于量测且误差较小的区域作为测量基准点的选择区域，在待测物体的基体表面没有暴露在外时，可以选择与测量点的厚度而言，覆盖物厚度较薄的区域。在选取好测量基准点后，将测量基准点的高度值记录下，作为以后测量的比对标准。

S102:选取至少一个待测量的点位；

具体地说，待测量的点位为人为规定的或者设备根据预先存储的程序运行相应的轨道。一般来讲，待测量的点位一般选取在段差值容易超标的区域，如多层覆盖物的重叠处，或者两种不同覆盖物的交界处，也可以采取随机抽样检测的方法，随机的设置待测量的点位。

S103:测距仪器移动到所述待测量的点位的正上方；

具体地说，测距仪器的移动可以由人工执行，也可以由处理器根据预设的程序让测距仪器根据预设的路径移动。

S104:所述测距仪器以所述待测量的点位为起点，分别向至少两个方向移动并测量；

具体地说，在一个实施例中，测距仪器以待测量的点位为起点，先向一个方向移动并测量，接着以前次测量终点为起点，向另一个方向移动并测量，两个方向的夹角可以是90°也可以是其他任意角度。

在另一个实施例中，测距仪器以待测量的点位为起点，先向一个方向移动并测量；接着测距仪器需要回到起点，再向另一个方向移动并测量两个方向的夹角可以是90°也可以是其他任意角度。