[发明专利]段差测量方法及装置以及液晶显示基板制造方法

权利要求书

1.一种段差测量方法，其特征在于，包括：

在待测物体表面选取测量基准点，并将所述测量基准点的值设置为对照值；

选取至少一个待测量的点位；

测距仪器移动到待所述测量的点位的正上方；

所述测距仪器以所述待测量的点位为起点，分别向至少两个方向移动并测量；

将所述测距仪器在移动过程中测得的数据与所述对照值进行对比并记录或输出比对结果。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述测距仪器以所述待测量的点位为起点，分别向至少两个方向移动并测量包括：

所述测距仪器以所述待测量的点位为起点，先向一个方向移动并测量；

以前次测量终点为起点，向另一个方向移动并测量。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述测距仪器以所述待测量的点位为起点，分别向至少两个方向移动并测量包括：

所述测距仪器以一个所述待测量的点位为起点，分别向至少两个方向移动并测量；

所述测距仪器以另一个所述待测量的点位为起点，分别向至少两个方向移动并测量，重复上述测量步骤直至将所有待测量的点位测量完毕。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述测距仪器以所述待测量的点位为起点，分别向至少两个方向移动并测量包括：

所述测距仪器以所述待测量的点位为起点，先向一个方向移动并测量；

所述测距仪器回到所述起点，再向另一个方向移动并测量。

5.根据权利要求1至4任一项所述的方法，其特征在于，所述待测量物体包括COA基板。

6.根据权利要求1至4任一项所述的方法，其特征在于，所述测量基准点为开线处空隙的底部。

7.根据权利要求1至4任一项所述的方法，其特征在于，所述测量基准点为所述COA基板上未被电子元件覆盖区域。

8.根据权利要求1至6任一项所述的方法，其特征在于，所述至少两个方向的各方向之间的夹角为90度。

9.一种段差测量装置，其特征在于，包括：

测距仪器，所述测距仪器用于在移动过程中测量待测物体表面在行程距离内的高度；

控制电路，耦接所述测距仪器，所述控制电路用于控制所述测距仪器的所述待测物体表面的移动；对所述测距仪器测量出的高度与测量基准点的高度值进行对比，并判断差值是否超过阈值；

输出电路，耦接所述控制电路，所述输出店里输出判断差值是否超过阈值的结果。

10.一种液晶显示基板制造方法，其特征在于，包括：

在完成COA基板的每一道制程之后，都要进行权利要求1-8所述的方法。