[发明专利]一种感测膜片以及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201710297168.7 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN106996827B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 詹竣凱;周宗燐;蔡孟錦;王宇 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;H04R1/08;H04R19/04;H04R7/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智;马佑平 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感测膜片及MEMS麦克风，包括位于中部区域的敏感部，以及位于敏感部外侧边缘且与所述敏感部一体成型的固定部；还包括从固定部延伸至敏感部边缘位置且非封闭的缝隙部，所述缝隙部在感测膜片上围成了根部位于固定部上、自由端延伸至敏感部上边缘位置的保持部；所述敏感部被配置为在受到冲击时相对于保持部发生位移，以在保持部与敏感部之间形成气流流通通道。本发明的感测膜片，不同于传统的泄压阀结构，对敏感部的振动特性影响较小，敏感部的动态稳定性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 膜片 以及 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种感测膜片，其特征在于：包括位于中部区域的敏感部(2)，以及位于敏感部(2)外侧边缘且与所述敏感部(2)一体成型的固定部(5)；还包括从固定部(5)延伸至敏感部(2)边缘位置且非封闭的缝隙部(4)，所述缝隙部(4)在感测膜片上围成了根部位于固定部(5)上、自由端延伸至敏感部(2)上边缘位置的保持部(3)；所述敏感部(2)被配置为在受到冲击时相对于保持部(3)发生位移，以在保持部(3)与敏感部(2)之间形成气流流通通道。
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