[发明专利]一种喷头清洗方法有效
| 申请号： | 201710295117.0 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107267956B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 杨兰;赵阳;王国行;万林;胡加辉 | 申请（专利权）人： | 华灿光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/18 |
| 代理公司： | 11138 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 徐立<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 430223 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种喷头清洗方法，属于金属有机化合物化学气相沉淀技术领域。所述喷头清洗方法包括：配置清洗溶液，所述清洗溶液为NaOH溶液与H2O2的混合溶液；将所述喷头浸泡在所述清洗溶液内进行超声清洗；采用清水对所述喷头进行超声冲洗；采用N2或惰性气体吹扫所述喷头，然后再对所述喷头进行烘干。该清洗方法不会腐蚀喷头，而且能有效的清洗喷头，并可在短时间内恢复到量产的水平，有效降低了恢复量产的时间成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷头 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种喷头清洗方法，适用于金属有机化合物化学气相沉淀设备中的喷头，其特征在于，所述喷头清洗方法包括：/n配置清洗溶液，所述清洗溶液为NaOH溶液与H2O2的混合溶液；/n将所述喷头浸泡在所述清洗溶液内进行超声清洗；/n在将所述喷头浸泡在所述清洗溶液中时，向所述清洗溶液中通入N2或惰性气体持续吹扫所述喷头，所述吹扫是指N2或惰性气体正对所述喷头，向所述清洗溶液中通入N2或惰性气体用于使整个所述清洗溶液发生流动；/n采用清水对所述喷头进行超声冲洗；/n在将所述喷头浸入流动的清水中时，向所述清水中通入N2或惰性气体持续吹扫所述喷头，向所述清水中通入N2或惰性气体用于使所述清水对所述喷头的冲击力更大；/n采用N2或惰性气体吹扫所述喷头，然后再对所述喷头进行烘干。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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