[发明专利]一种喷头清洗方法

权利要求书

1.一种喷头清洗方法，适用于金属有机化合物化学气相沉淀设备中的喷头，其特征在于，所述喷头清洗方法包括：

配置清洗溶液，所述清洗溶液为NaOH溶液与H₂O₂的混合溶液；

将所述喷头浸泡在所述清洗溶液内进行超声清洗；

在将所述喷头浸泡在所述清洗溶液中时，向所述清洗溶液中通入N₂或惰性气体持续吹扫所述喷头，所述吹扫是指N₂或惰性气体正对所述喷头，向所述清洗溶液中通入N₂或惰性气体用于使整个所述清洗溶液发生流动；

采用清水对所述喷头进行超声冲洗；

在将所述喷头浸入流动的清水中时，向所述清水中通入N₂或惰性气体持续吹扫所述喷头，向所述清水中通入N₂或惰性气体用于使所述清水对所述喷头的冲击力更大；

采用N₂或惰性气体吹扫所述喷头，然后再对所述喷头进行烘干。

2.根据权利要求1所述的喷头清洗方法，其特征在于，所述NaOH溶液中NaOH的浓度为M，50g/L≤M≤150g/L。

3.根据权利要求1或2所述的喷头清洗方法，其特征在于，所述清洗溶液中NaOH溶液与H₂O₂的体积比为N，40:1≥N≥30:5。

4.根据权利要求1或2所述的喷头清洗方法，其特征在于，所述将所述喷头浸泡在所述清洗溶液内进行超声清洗，包括：

将所述喷头浸泡在所述清洗溶液中进行清洗，并在清洗的同时对所述清洗溶液进行超声处理，所述超声处理的时间≥6小时。

5.根据权利要求1或2所述的喷头清洗方法，其特征在于，所述采用清水对所述喷头进行超声冲洗，包括：

将所述喷头浸入流动的清水中进行冲洗，并在冲洗的同时对所述清水进行超声处理，冲洗时间≥12小时。

6.根据权利要求1或2所述的喷头清洗方法，其特征在于，所述采用N₂或惰性气体吹扫所述喷头，包括：

采用N₂或惰性气体持续吹扫已冲洗干净的所述喷头的腔室，直至没有水气被吹出为止。

7.根据权利要求1或2所述的喷头清洗方法，其特征在于，所述配置清洗溶液，包括：

将3kg 的固体NaOH溶于30L蒸馏水中，然后加入1L H₂O₂，得到所述清洗溶液。

8.根据权利要求1或2所述的喷头清洗方法，其特征在于，所述对所述喷头进行烘干，包括：

在70℃至90℃的环境下，烘干所述喷头。