[发明专利]一种固定结构件、旋转升降装置和半导体处理设备

摘要

本发明提供一种固定结构件、旋转升降装置和半导体处理设备。该固定结构件包括第一环形结构、第二环形结构和连接件，第一环形结构和第二环形结构相贴合形成环形结构件，连接件活动设置于第一环形结构中，第二环形结构能相对第一环形结构转动，以推动连接件在一定的角度范围内进行摆动，以实现对被固定物进行固定或释放固定。该固定结构件在连接件未对旋转升降机构释放固定之前对旋转升降机构形成很好的承载，从而缩短了安装和拆卸时人为对旋转升降机构的托载时间，进而减小了旋转升降机构的安装和拆卸难度，并降低了旋转升降机构在安装和拆卸时对易碎物件的损坏风险。

主权项

1.一种固定结构件，其特征在于，包括第一环形结构、第二环形结构和连接件，其中，所述第一环形结构和所述第二环形结构相贴合形成环形结构件；所述连接件活动设置于所述第一环形结构中；所述第二环形结构能相对所述第一环形结构转动，以推动所述连接件在一定的角度范围内进行摆动，以实现对被固定物进行固定或释放固定。