[发明专利]一种固定结构件、旋转升降装置和半导体处理设备

权利要求书

1.一种固定结构件，其特征在于，包括第一环形结构、第二环形结构和连接件，其中，

所述第一环形结构和所述第二环形结构相贴合形成环形结构件；

所述连接件活动设置于所述第一环形结构中；

所述第二环形结构能相对所述第一环形结构转动，以推动所述连接件在一定的角度范围内进行摆动，以实现对被固定物进行固定或释放固定；

所述第一环形结构的平行于其轴线的第一环形侧壁上开设有多个第一通孔；

在任意相邻的两个所述第一通孔之间开设有第二通孔，所述第二通孔从所述第一环形侧壁延伸至所述第一环形结构的垂直于其轴线的第二环形侧壁上；

所述连接件包括连接柱和第一固定杆；

所述连接柱上开设有贯穿其径向的第三通孔，所述连接柱贯穿相邻的两个所述第一通孔设置于所述第一环形结构中；

且所述第三通孔的位置与所述第二通孔的位置相对应；

所述第一固定杆贯穿所述第三通孔；

所述连接柱能在所述第一通孔中转动，以使所述第三通孔在所述第二通孔中沿所述连接柱的周向往复摆动，从而带动所述第一固定杆沿所述连接柱的周向往复摆动。

2.根据权利要求1所述的固定结构件，其特征在于，所述第二环形结构的外环边缘包括多个第一凸起缘和多个凹陷缘；

所述第一凸起缘向远离所述第二环形结构轴线的方向凸起；

所述凹陷缘向靠近所述第二环形结构轴线的方向凹陷；

所述第一凸起缘和所述凹陷缘沿所述外环边缘依次交替设置；

所述外环边缘与所述第一固定杆相接触；其中，

所述第二环形结构与所述第一环形结构的所述第二环形侧壁相贴合，且所述第二环形结构能以其轴线为转动轴相对所述第一环形结构转动；

当所述第一环形结构转动至所述凹陷缘与所述第一固定杆接触时，所述第一固定杆位于所述凹陷缘中并平行于所述第一环形结构的轴线，实现对被固定物的固定；

当所述第一环形结构转动至所述第一凸起缘与所述第一固定杆接触时，所述第一凸起缘推动所述第一固定杆摆动，使其与所述第一环形结构的轴线成大于零的夹角，实现对被固定物的释放固定。

3.根据权利要求2所述的固定结构件，其特征在于，所述第一环形结构的所述第二环形侧壁上开设有第四孔；

所述第二环形结构在对应所述第四孔的位置开设有弧形孔，所述弧形孔的延伸方向沿所述第二环形结构的周向，且与所述第二环形结构相对所述第一环形结构转动的方向相同；以及

所述固定结构件还包括第二固定杆，所述第二固定杆穿过所述弧形孔，并固定于所述第四孔中，用于连接所述第一环形结构和第二环形结构，且所述第二环形结构相对所述第一环形结构转动时，所述第二固定杆在所述弧形孔中的位置相应的发生变化。

4.根据权利要求1所述的固定结构件，其特征在于，所述第一环形结构和所述第二环形结构的内环大小形状相同且相对应重合；

在所述第一环形结构的第三环形侧壁的内环边缘设置有第二凸起缘，所述第三环形侧壁与所述第二环形侧壁相对且平行，所述第二凸起缘向靠近所述第一环形结构轴线的方向凸起。

5.根据权利要求1所述的固定结构件，其特征在于，所述第一通孔和所述第三通孔的形状均为圆筒形，所述连接柱和所述第一固定杆的形状均为圆柱形。

6.根据权利要求2所述的固定结构件，其特征在于，所述第一凸起缘和所述凹陷缘的边缘均呈弧线形。

7.根据权利要求3所述的固定结构件，其特征在于，所述第一固定杆和所述第二固定杆均采用螺钉。

8.一种旋转升降装置，包括旋转升降机构和法兰，其特征在于，还包括权利要求1-7任意一项所述的固定结构件，所述固定结构件设置在所述法兰上，用于对所述旋转升降机构进行固定和释放固定。