[发明专利]一种薄膜晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 201710232650.2 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN108695376B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 陈崧;钱磊;杨一行;曹蔚然;向超宇 | 申请（专利权）人： | TCL集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/336;H01L29/786 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 516006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜晶体管及其制备方法，其中，所述薄膜晶体管的半导体层材料为纳米颗粒薄膜经交联处理形成的交联纳米颗粒薄膜。本发明通过将交联纳米颗粒薄膜应用在薄膜晶体管中的半导体层中，能有效减少热载流子效应，并显著提高薄膜晶体管的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 纳米颗粒薄膜 交联 制备 半导体层材料 热载流子效应 半导体层 有效减少 应用 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管的半导体层为交联纳米颗粒薄膜，所述交联纳米颗粒薄膜为纳米颗粒薄膜在组合气体氛围下经过交联反应制备而成，其中，形成所述纳米颗粒薄膜的材料选自氧化物纳米颗粒、硫化物纳米颗粒、硒化物纳米颗粒、氮化物纳米颗粒、氟化物纳米颗粒中的一种或多种；所述组合气体包括还原性气体、氧气、水汽和二氧化碳。
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