[发明专利]基板宏观检查机在审
| 申请号： | 201710188483.6 | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN106918934A | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 徐涛 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰,顾楠楠 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基板宏观检查机，包括设于显影装置以及烘烤装置之间的机架，在机架上设有用于支撑玻璃基板的支撑部，在支撑部上方设有光源，所述机架上位于支撑部与光源之间设有可沿玻璃基板表面水平移动的抽气装置，抽气装置通过设于抽气装置与机架之间的行走机构驱动。与现有技术相比，通过在放置玻璃基板的支撑臂与光源之间设置用于吸附玻璃基板表面微粒的抽气装置，并通过行走机构驱动，使得检查后的玻璃基板能够通过抽气装置将表面的微粒吸附干净，避免造成产品异常。 | ||
| 搜索关键词： | 宏观 检查 | ||
【主权项】：
一种基板宏观检查机，其特征在于：包括设于显影装置以及烘烤装置之间的机架(1)，在机架(1)上设有用于支撑玻璃基板的支撑部(2)，在支撑部(2)上方设有光源(3)，所述机架(1)上位于支撑部(2)与光源(3)之间设有可沿玻璃基板表面水平移动的抽气装置(4)，抽气装置(4)通过设于抽气装置(4)与机架(1)之间的行走机构驱动。
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