[发明专利]基板宏观检查机

说明书

技术领域

本发明涉及一种液晶面板生产技术，特别是一种用于检查玻璃基板表面的基板宏观检查机。

背景技术

现今LTPS(低温多晶硅技术)的手机(Mobile)产品对产品品质要求越来越高，对产品制作过程中的particle(微粒)管控越来越严格，当彩膜产品上有掉落大于1000um²面积的particle时，就会造成液晶盒内的暗点，使人看到的产品有瑕疵。目前，彩膜单制程的流程如下：玻璃基板通过洗净装置-涂布装置-真空干燥装置-预烘烤装置-曝光装置-显影装置-烘烤装置，最后得到完成后的玻璃基板，为了能够避免玻璃基板膜面颜色不均，会在彩膜黄光线上(即显影装置与烘烤装置之间)外挂一台设备，对产品进行宏观色不均匀的抽样检查，简称macro，此设备需要人员进入设备内进行操作，通过人员手动操作旋转载台，载台上的灯照射到玻璃基板上，用人眼靠近观察产品上是否有膜面颜色不均的现象，从而对玻璃基板的品质进行判定，但是进行人员容易带入particle从而污染玻璃基板，造成产品异常。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明提供一种基板宏观检查机，将玻璃基板表面清洁干净后再流出，有效防止微粒附着在玻璃表面上，避免产品异常。

本发明提供了一种基板宏观检查机，包括设于显影装置以及烘烤装置之间的机架，在机架上设有用于支撑玻璃基板的支撑部，在支撑部上方设有光源，所述机架上位于支撑部与光源之间设有可沿玻璃基板表面水平移动的抽气装置，抽气装置通过设于抽气装置与机架之间的行走机构驱动。

进一步地，所述抽气装置包括设于机架两侧上的支臂，在两个支臂之间设有风刀，风刀的气孔与支撑部相对，风刀经管道与抽风机连接。

进一步地，所述行走机构包括设于支臂与机架之间的导轨，导轨的轨道固定于机架与支臂位置相对应处，导轨的滑块与支臂连接固定，在其中一侧的导轨处设有与轨道平行的螺杆，在滑块上设有螺孔，滑块经螺孔套在螺杆上并与其螺纹连接，在螺杆的一端通过联轴器与驱动电机的输出轴连接，驱动电机通过驱动螺杆转动从而实现带动抽气装置水平移动。

进一步地，所述行走机构为电动滑台，电动滑台分别设于两个支臂与机架之间，电动滑台的滑块与支臂连接，电动滑台的导轨与机架连接固定。

进一步地，所述风刀与抽风机之间的管道上设有电磁阀。

进一步地，所述风刀的两端分别通过管道经电磁阀与抽风机连接。

进一步地，所述支撑部包括网格状的底板，在底板上设有数根用于支撑玻璃基板的支撑臂。

进一步地，所述风刀与玻璃基板的长边平行。

本发明与现有技术相比，通过在放置玻璃基板的支撑臂与光源之间设置用于吸附玻璃基板表面微粒的抽气装置，并通过行走机构驱动，使得检查后的玻璃基板能够通过抽气装置将表面的微粒吸附干净，避免造成产品异常。

附图说明

图1是本发明的主视图；

图2是本发明的俯视图；

图3是本发明的抽气装置的结构示意图；

图4是本发明第一种行走机构的结构示意图；

图5是本发明的第二种行走机构的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1和图2所示，本发明公开了一种基板宏观检查机，该基板宏观检查机设置在彩膜制程中最后两道制程之间，即显影装置与烘烤装置之间，这样通过人工进行玻璃基板19的宏观检查，用人眼靠近观察玻璃基板19上的膜面颜色是否有不均匀的现象出现，该基板宏观检查机包括机架1，在机架1上设有用于支撑玻璃基板的支撑部2；具体地，该机架1包括设于两侧的主支架18，支撑部2设置在主支架18之间，支撑部2包括网格状的底板15，在底板15上设有数根用于支撑玻璃基板19的支撑臂16，底板15与主支架18相对的两侧分别与主支架18焊接固定，支撑臂16分别固定在底板15的网格状的十字交叉点上，支撑臂16通过焊接的方式与底板15连接固定；

在支撑部2上方设有光源3，光源3照射到玻璃基板19上的光线为平行光，由于基板宏观检查机需要人眼靠近观察玻璃基板，在进入设备内时，会带入如微粒等污染玻璃基板19，造成产品异常，因此，在机架1上位于支撑部2与光源3之间设有可沿玻璃基板19表面水平移动的抽气装置4，抽气装置4架设在两个主支架18之上，抽气装置4通过设于抽气装置4与机架1之间的行走机构驱动，具体地，行走机构是安装在主支架18与抽气装置4之间。