[发明专利]基板宏观检查机

权利要求书

1.一种基板宏观检查机，其特征在于：包括设于显影装置以及烘烤装置之间的机架(1)，在机架(1)上设有用于支撑玻璃基板的支撑部(2)，在支撑部(2)上方设有光源(3)，所述机架(1)上位于支撑部(2)与光源(3)之间设有可沿玻璃基板表面水平移动的抽气装置(4)，抽气装置(4)通过设于抽气装置(4)与机架(1)之间的行走机构驱动。

2.根据权利要求1所述的基板宏观检查机，其特征在于：所述抽气装置(4)包括设于机架(1)两侧上的支臂(5)，在两个支臂(5)之间设有风刀(6)，风刀(6)的气孔与支撑部(2)相对，风刀(6)经管道与抽风机(7)连接。

3.根据权利要求2所述的基板宏观检查机，其特征在于：所述行走机构包括设于支臂(5)与机架(1)之间的导轨(8)，导轨(8)的轨道(9)固定于机架(1)与支臂(5)位置相对应处，导轨(8)的滑块(10)与支臂(5)连接固定，在其中一侧的导轨(8)处设有与轨道(9)平行的螺杆(11)，在滑块(10)上设有螺孔(12)，滑块(10)经螺孔(12)套在螺杆(11)上并与其螺纹连接，在螺杆(11)的一端通过联轴器与驱动电机(13)的输出轴连接，驱动电机(13)通过驱动螺杆(11)转动从而实现带动抽气装置(4)水平移动。

4.根据权利要求2所述的基板宏观检查机，其特征在于：所述行走机构为电动滑台(17)，电动滑台(17)分别设于两个支臂(5)与机架(1)之间，电动滑台(17)的滑块与支臂(5)连接，电动滑台(17)的导轨与机架(1)连接固定。

5.根据权利要求2所述的基板宏观检查机，其特征在于：所述风刀(6)与抽风机(7)之间的管道上设有电磁阀(14)。

6.根据权利要求5所述的基板宏观检查机，其特征在于：所述风刀(6)的两端分别通过管道经电磁阀(14)与抽风机(7)连接。

7.根据权利要求1所述的基板宏观检查机，其特征在于：所述支撑部(2)包括网格状的底板(15)，在底板(15)上设有数根用于支撑玻璃基板的支撑臂(16)。

8.根据权利要求2所述的基板宏观检查机，其特征在于：所述风刀(6)与玻璃基板的长边平行。