[发明专利]半导体器件、制造方法以及存储器有效
申请号: | 201710175979.X | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN108630807B | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 陈卓凡;刘盼盼 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;H01L27/24 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 王莉莉 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请公开了一种半导体器件、制造方法以及存储器,涉及半导体技术领域。该器件包括:一条或多条位线BL;设置在BL上的两个选择栅SG、一条或多条字线WL、源极和漏极;其中,WL设置在两个SG之间,源极和漏极分别设置在两个SG外侧。该器件、方法以及存储器能够提高存储密度以及写入和擦除速度。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 制造 方法 以及 存储器 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,包括:一条或多条位线BL;设置在所述BL上的两个选择栅SG、一条或多条字线WL、源极和漏极;其中,所述WL设置在两个所述SG之间,所述源极和漏极分别设置在所述两个SG外侧。
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