[发明专利]一种塑料的有机加硬镀膜的镀制装置在审
申请号: | 201710173612.4 | 申请日: | 2017-03-22 |
公开(公告)号: | CN108624845A | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 籍龙占;谢丑相;张晓岚;吴历清;王国昌 | 申请(专利权)人: | 杭州朗旭新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/12 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李海建 |
地址: | 310051 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种塑料的有机加硬镀膜的镀制装置,所述镀制装置包括等离子有机活化装置,所述等离子有机活化装置包括:用于接入离化气体的第一进气口、用于接入小分子有机气液混合分子的第二进气口、等离子发生装置和喷嘴;所述等离子发生装置包括反应放电室和设置在所述反应放电室内的等离子源,且所述反应放电室上设置有等离子体喷射口;所述第一进气口与所述反应放电室连通;所述第二进气口与所述喷嘴连通,且所述喷嘴朝向所述等离子体喷射口布置。上述镀制装置,通过所述等离子有机活化装置形成的有机加硬镀膜的厚度较薄,大大节省了有机液镀膜的原料浪费,同时形成的有机加硬镀膜几乎立刻固化,避免了因重力流动产生的均匀性差的问题。 | ||
搜索关键词: | 进气口 加硬镀膜 镀制 有机活化 喷嘴 等离子 放电室 等离子发生装置 等离子体喷射 连通 塑料 等离子源 混合分子 均匀性差 重力流动 装置形成 小分子 有机气 有机液 放电 镀膜 离化 固化 室内 | ||
【主权项】:
1.一种塑料的有机加硬镀膜的镀制装置,其特征在于,所述镀制装置包括等离子有机活化装置(1),所述等离子有机活化装置(1)包括:用于接入离化气体的第一进气口(2)、用于接入小分子有机气液混合分子的第二进气口(3)、等离子发生装置(4)和喷嘴(5);所述等离子发生装置(4)包括反应放电室(6)和设置在所述反应放电室(6)内的等离子源,且所述反应放电室(6)上设置有等离子体喷射口(7);所述第一进气口(2)与所述反应放电室(6)连通;所述第二进气口(3)与所述喷嘴(5)连通,且所述喷嘴(5)朝向所述等离子体喷射口(7)布置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州朗旭新材料科技有限公司,未经杭州朗旭新材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710173612.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种晶圆背面金属薄膜及其制备方法
- 下一篇:一种镁合金表面PVD处理设备
- 同类专利
- 专利分类