[发明专利]压力测定装置、排气系统以及基板处理装置有效
| 申请号： | 201710162117.3 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN107202665B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 菊池达;冈部庸之;小池悟 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力测定装置、排气系统以及基板处理装置。压力测定装置具有：第一压力计，其与能够对处理对象进行处理的处理室连接并能够测定正在对所述处理对象进行处理时的所述处理室内的压力；第二压力计，其与所述处理室连接；以及切换阀，在所述处理室内正在对所述处理对象进行处理时，所述切换阀能够将所述第二压力计与所述处理室之间的连接断开。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 测定 装置 排气 系统 以及 处理 | ||
【主权项】：
一种压力测定装置，具有：第一压力计，其与能够对处理对象进行处理的处理室连接并能够测定正在对所述处理对象进行处理时的所述处理室内的压力；第二压力计，其与所述处理室连接；以及第一切换阀，在所述处理室内正在对所述处理对象进行处理时，所述第一切换阀能够将所述第二压力计与所述处理室之间的连接断开。
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