[发明专利]压力测定装置、排气系统以及基板处理装置

权利要求书

1.一种排气系统，具有：

第一压力计，其与能够对处理对象进行处理的处理室连接并能够测定正在对所述处理对象进行处理时的所述处理室内的压力；

第二压力计，其与所述处理室连接；

第一切换阀，在所述处理室内正在对所述处理对象进行处理时，所述第一切换阀能够将所述第二压力计与所述处理室之间的连接断开；

排气单元，其经由排气配管而与所述处理室连接；

压力调整阀，其设置于所述排气配管，用于对通过该排气单元进行排气的所述处理室内的压力进行调整；

旁路配管，其包含与所述排气配管不同的配管，所述旁路配管不经由所述压力调整阀而将所述处理室和所述排气单元直接连接；以及

第二切换阀，在所述处理室内正在对所述处理对象进行处理时，所述第二切换阀将所述旁路配管与所述处理室之间的连接断开，在所述第二压力计对所述处理室内的压力进行测定时，所述第二切换阀将经由所述旁路配管的、所述处理室与所述排气单元的连接接通，

所述第二压力计经由合流配管和分支配管而与所述处理室连接，其中，所述合流配管用于将所述第二压力计与所述第一压力计一起连接于所述处理室，所述分支配管只将所述第二压力计连接于该合流配管，

所述第一切换阀设置于该分支配管，

所述旁路配管与所述合流配管连接。

2.根据权利要求1所述的排气系统，其特征在于，

所述第一切换阀在所述处理室内没有对所述处理对象进行处理时被打开，

所述第二压力计在所述第一切换阀处于打开时能够测定所述处理室内的压力。

3.根据权利要求1所述的排气系统，其特征在于，

还具有控制单元，该控制单元基于第一压力与第二压力之间的差来测量第一压力计的误差，其中，所述第一压力是由所述第一压力计测定出的正在对所述处理对象进行处理时的所述处理室内的压力，所述第二压力是由所述第二压力计测定出的不是对所述处理对象进行处理时的所述处理室内的压力。

4.根据权利要求3所述的排气系统，其特征在于，

所述控制单元将所述第一压力计的误差取入来对所述压力调整阀的设定值进行控制。

5.根据权利要求4所述的排气系统，其特征在于，

所述排气单元是真空泵。

6.根据权利要求1所述的排气系统，其特征在于，

所述第二切换阀设置于所述旁路配管。

7.根据权利要求4所述的排气系统，其特征在于，

所述处理对象是基板。

8.一种基板处理装置，具有：

根据权利要求7所述的排气系统；

处理室，其与该排气系统连接，

基板保持单元，其设置在该处理室内，能够保持所述基板；以及

处理气体供给单元，其向所述处理室内供给处理气体。