[发明专利]液处理装置

摘要

本发明提供一种液处理装置，精度良好地放置基板、同时减少基板的下表面上的液体残留。实施方式的液处理装置具备倾斜部、多个支承构件、处理液供给部以及旋转机构。倾斜部配置于基板的下方，具有从基板的外侧朝向基板的内侧下倾且沿着基板的周向延伸的倾斜面。多个支承构件相对于倾斜面突出地设置，从下方支承基板。处理液供给部向支承到多个支承构件的基板的上表面供给处理液。旋转机构使倾斜部旋转。另外，多个支承构件具有从基板的外侧朝向基板的内侧延伸的细长形状。

主权项

一种液处理装置，其特征在于，该液处理装置具备：倾斜部，其配置于基板的下方，具有从所述基板的外侧朝向所述基板的内侧下倾且沿着所述基板的周向延伸的倾斜面；多个支承构件，其相对于所述倾斜面突出地设置，从下方支承所述基板；处理液供给部，其向支承到所述多个支承构件的所述基板的上表面供给处理液；以及旋转机构，其使所述倾斜部旋转，所述多个支承构件具有从所述基板的外侧朝向所述基板的内侧延伸的细长形状。