[发明专利]捕集装置和使用该捕集装置的排气系统、基板处理装置

摘要

本发明的目的在于提供一种能够无需相对于排气系统进行装卸且延长用于恰当地保持装置运转环境的清洁周期的捕集装置和使用该捕集装置的排气系统、基板处理装置。一种捕集装置(50)，其具有捕集部(10)，该捕集部(10)设置于配管(60)内的流路(61)，所述捕集部具有相对于所述配管内的流路倾斜的倾斜面，在该倾斜面设置有多个开口(11)。

主权项

一种捕集装置，其具有捕集部，该捕集部设置于配管内的流路，其中，所述捕集部具有相对于所述配管内的流路倾斜的倾斜面，在该倾斜面设置有多个开口。