[发明专利]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201710127164.4 | 申请日： | 2017-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN106851509B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张金宇 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风，其包括具有收容腔的外壳及开设于所述外壳上的声孔，所述收容腔内设有具有空腔的壳体、具有背腔的MEMS芯片以及ASIC芯片，所述壳体安装于所述外壳，所述MEMS芯片安装于所述壳体，所述壳体设有连通所述空腔和所述背腔的通孔，所述壳体还设有连通所述空腔和所述收容腔的泄气孔，所述MEMS麦克风还包括设置于所述壳体关闭所述泄气孔的膜瓣，所述膜瓣受气流作用发生形变打开所述泄气孔。本发明的MEMS麦克风可以避免MEMS芯片的振膜受气流冲击损坏。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其包括具有收容腔的外壳及开设于所述外壳上的声孔，其特征在于，所述收容腔内设有具有空腔的壳体、具有背腔的MEMS芯片以及ASIC芯片，所述壳体安装于所述外壳，所述MEMS芯片安装于所述壳体，所述壳体设有连通所述空腔和所述背腔的通孔，所述壳体还设有连通所述空腔和所述收容腔的泄气孔，所述MEMS麦克风还包括设置于所述壳体关闭所述泄气孔的膜瓣，所述膜瓣受气流作用发生形变打开所述泄气孔。
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