[发明专利]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其包括具有收容腔的外壳及开设于所述外壳上的声孔，其特征在于，所述收容腔内设有具有空腔的壳体、具有背腔的MEMS芯片以及ASIC芯片，所述壳体安装于所述外壳，所述MEMS芯片安装于所述壳体，所述壳体设有连通所述空腔和所述背腔的通孔，所述壳体还设有连通所述空腔和所述收容腔的泄气孔，所述MEMS麦克风还包括设置于所述壳体关闭所述泄气孔的膜瓣，所述膜瓣的外周缘固接于所述壳体，所述膜瓣设有缝隙将所述膜瓣分隔成若干子膜瓣，所述子膜瓣受气流作用发生形变能够双向打开所述泄气孔。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述声孔与所述收容腔连通。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述声孔与所述空腔连通。

4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述声孔与所述通孔相互错开。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述ASIC芯片安装于所述壳体。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述壳体由硅材料制成。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜瓣处于临界阻尼状态。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述外壳包括电路板和盖接于所述电路板的盖体，所述电路板与所述盖体形成所述收容腔，所述壳体安装于所述电路板或所述盖体。