[发明专利]射线探测基板及其制造方法、射线探测装置

摘要

本申请公开了一种射线探测基板及其制造方法、射线探测装置，属于显示技术领域。所述射线探测基板包括：衬底基板，衬底基板上设置有光电二极管，光电二极管包括两个掺杂层和本征层，本征层位于两个掺杂层之间，两个掺杂层的排布方向平行于衬底基板。本申请解决了X射线探测装置的性能较差的问题，提高了X射线探测装置的性能，本申请用于射线探测装置。

主权项

1.一种射线探测基板，其特征在于，所述射线探测基板包括：衬底基板，所述衬底基板上设置有薄膜晶体管、阴极图案和光电二极管；其中，所述光电二极管包括两个掺杂层和本征层，所述本征层位于两个掺杂层之间，所述两个掺杂层的排布方向平行于所述衬底基板；所述薄膜晶体管中的漏极图案包括：平行于所述衬底基板的平板电极和垂直于所述衬底基板的平板电极，且平行于所述衬底基板的平板电极设置在所述衬底基板上，所述光电二极管和垂直于所述衬底基板的平板电极均设置在平行于所述衬底基板的平板电极上，且垂直于所述衬底基板的平板电极与所述光电二极管中的一个掺杂层接触，所述光电二极管中的另一个掺杂层与所述阴极图案接触。