[发明专利]一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置

摘要

本发明公开了一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，主要由气体混合腔、喷淋板、喷淋管和可拆顶板组成，其特征在于在现有喷淋装置基础上加一层可拆卸顶板，该顶板具有单独水冷腔用于提供稳定的温度边界。本发明的优点是可拆顶板可以简化现有喷淋制造工艺，降低对原喷淋面的加工要求，并可以单独卸下清洗，对提高工艺质量具有积极影响。

主权项

1.一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，主要包括喷淋（2）、喷淋进气口（1）、气体混合腔（5）、喷淋管（6）、冷却水进口（3）、冷却水出口（4）、喷淋水冷腔（7）等，其特征在于喷淋（2）底面设置有可拆顶板（8），可拆顶板（8）通过可拆卸的连接方式与喷淋（2）底面贴合连接，所述可拆顶板（8）内部设有顶板水冷腔（9），顶板冷却水进口（10）通过冷却水腔（9）与顶板冷却水出口（11）连通，可拆顶板（8）上分布设置有贯穿孔（12），使凸出的喷淋管（6）可以伸入到相应的贯穿孔（12）中。