[发明专利]印刷基板用曝光装置

摘要

不会利用将基板吸附于基台的真空吸附力或将基板暴露于真空中、就而能够将基板的周边部向基台按压，使得对于厚度不同的基板也能够容易地对应。在基板(S)通过真空吸附机构(3)而被吸附到基台(1)时，设置在不遮挡曝光的形状的框体(61)上的一对周状封固部件(62)与基台(1)抵接，所形成的密闭空间通过框体用排气孔(13)被排气，从而框体(61)被朝向基台(1)按压。其结果，以基板(S)的周边部被按压于基台(1)、基板(S)的变形被矫正的状态，通过曝光系统(2)将基板(S)曝光。

主权项

一种印刷基板用曝光装置，具备：载置基板的基台；和对载置在基台上的基板照射形成规定的图案的曝光光的曝光系统，其特征在于，设有：将基板真空吸附到基台上的真空吸附机构；和将载置在基台上的基板的周边部向基台按压的按压机构，按压机构具备：不遮挡对基板形成规定的图案的曝光光的形状的框体；和通过将框体以在其与基台之间夹入有基板的周边部的状态朝向基台按压从而将基板的周边部向基台按压的驱动部，框体具有在偏离基板的位置形成密闭空间的构造，并且在对基板进行形成规定的图案的曝光光的照射时，驱动部将该密闭空间抽真空，从而将基板的周边部向基台按压，上述印刷基板用曝光装置设有控制曝光系统以及按压机构的控制部，控制部在向基板进行形成规定的图案的曝光光的照射的期间，也进行使按压机构的驱动部动作的控制。