[发明专利]一种新型钙钛矿光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种新型钙钛矿光电探测器及其制备方法，属于光电探测技术领域。本发明提供了一种基于TiO2电子传输层和无机金属氧化物界面修饰层的钙钛矿光电探测器及其制备方法，探测器包括在导电基底上通过原子层沉积技术生长的TiO2致密层作为电子传输层，接着制备一层有机无机杂化钙钛矿薄膜作为光敏层，随后沉积一层spiro‑OMeTAD空穴传输层，接着沉积一层无机氧化物界面修饰层(包括MoO3、WO3或者V2O5的一种)，最后沉积一层Au或者Ag作为金属电极。所述TiO2作为电子传输层和无机氧化物作为界面修饰层，提升了光电探测器寿命、降低了探测器的暗电流，提高了其探测率，降低了器件的制备成本，有利于实现钙钛矿光电探测器的产业化。

主权项

一种新型钙钛矿光电探测器，其特征在于：所述光电探测器从下至上由导电基底、TiO2电子传输层、光敏层、空穴传输层、界面修饰层和金属反射电极组成。