[发明专利]一种用于MOCVD的金属有机源掺杂装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于MOCVD的金属有机源掺杂装置，包括：恒温电子加热器；盛料锅，设于恒温电子加热器内，包括圆柱形不锈钢锅体及盖板，所述锅体上设置有进气接口和出气接口；氩气瓶，通过管路依次连接减压阀、第一节流阀、软管、进气接口；恒温钢管，与温控器电路连接，所述出气接口通过恒温钢管依次连接、流量计、第二节流阀、三通切换阀、镀膜机沉积室；回收瓶，通过另一根恒温钢管连接三通切换阀。本发明还公开了一种用于MOCVD的有机源掺杂方法。本发明具有温度控制、杂气排出等功能；体积较小，不受有机源状态限制，可适用于固体或液体，也适用于低沸点、极易挥发的前驱体；低成本轻量化；通入气体流量稳定、加料简便、无空气污染。

主权项

一种用于MOCVD的金属有机源掺杂装置，其特征在于，包括：恒温电子加热器；盛料锅，设于恒温电子加热器内，包括圆柱形不锈钢锅体及盖板，所述锅体上设置有进气接口和出气接口；氩气瓶，通过管路依次连接减压阀、第一节流阀、软管、进气接口；恒温钢管，与温控器电路连接，所述出气接口通过恒温钢管依次连接、流量计、第二节流阀、三通切换阀、镀膜机沉积室；回收瓶，通过另一根恒温钢管连接三通切换阀。