[发明专利]射频返回路径的阻抗的控制有效
| 申请号： | 201710083055.7 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN106941069B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 阿列克谢·马拉霍塔诺夫;拉金德尔·迪恩赛;肯·卢彻斯;卢克·奥巴伦德 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/02 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及射频返回路径的阻抗的控制。具体而言，一种用于控制射频(RF)返回路径的阻抗的系统包括匹配盒，该匹配盒进一步包括匹配电路。该系统进一步包括射频发生器，该射频发生器与匹配盒联接上以经由射频供应路径的第一部分供应射频供应信号到匹配盒。射频发生器联接到匹配盒以经由射频返回路径的第一部分接收射频返回信号。该系统还包括开关电路以及经由射频返回路径的第二部分与该开关电路联接上的等离子体反应器。等离子体反应器经由射频供应路径的第二部分联接到匹配电路。该系统包括联接到所述开关电路上的控制器，所述控制器被配置成基于调节配方控制所述开关电路以改变所述射频返回路径的阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 返回 路径 阻抗 控制 | ||
【主权项】：
1.一种匹配盒，包括：壳体；位于所述壳体内的匹配电路；位于所述壳体内的开关电路，所述开关电路包括：多个开关；和彼此间隔开的多个参数元件，其中所述多个参数元件中的每一个连接到所述多个开关中的对应一个，其中所述多个开关中的每一个被配置为连接到射频(RF)传输线的接地射频通道以修改具有该接地射频通道的返回路径的阻抗。
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