[发明专利]超声波传感器的制造方法在审
| 申请号： | 201710069872.7 | 申请日： | 2017-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108400233A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 侯美珍;马炳乾;骆剑锋 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/23 | 分类号： | H01L41/23;H01L41/277;H01L41/338;H01L41/43 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张润 |
| 地址： | 330013 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开一种超声波传感器的制造方法。所述超声波传感器的制造方法包括步骤：提供多块薄片；堆叠所述多块薄片形成素胚；切割所述素胚形成胚体，所述胚体包括多个柱状体；烧结所述胚体，所述多个柱状体形成多个压电陶瓷柱；填充聚合物至所述多个压电陶瓷柱之间并固化形成超声波传感器。上述超声波传感器的制造方法，先切割素胚，再烧结成型形成压电陶瓷柱，切割由多块薄片形成的素胚不易产生裂纹，有效的提高了切割效率，节省原材料，降低成本，简化工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波传感器 素胚 压电陶瓷柱 多块 胚体 切割 柱状体 制造 切割效率 烧结成型 聚合物 烧结 堆叠 固化 填充 | ||
【主权项】：
1.一种超声波传感器的制造方法，其特征在于，所述超声波传感器的制造方法包括步骤：提供多块薄片；堆叠所述多块薄片形成素胚；切割所述素胚形成胚体，所述胚体包括多个柱状体；烧结所述胚体，所述多个柱状体形成多个压电陶瓷柱；和填充聚合物至所述多个压电陶瓷柱之间并固化形成超声波传感器。
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