[发明专利]超声波传感器的制造方法在审
| 申请号： | 201710069872.7 | 申请日： | 2017-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108400233A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 侯美珍;马炳乾;骆剑锋 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/23 | 分类号： | H01L41/23;H01L41/277;H01L41/338;H01L41/43 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张润 |
| 地址： | 330013 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声波传感器 素胚 压电陶瓷柱 多块 胚体 切割 柱状体 制造 切割效率 烧结成型 聚合物 烧结 堆叠 固化 填充 | ||
1.一种超声波传感器的制造方法，其特征在于，所述超声波传感器的制造方法包括步骤：
提供多块薄片；
堆叠所述多块薄片形成素胚；
切割所述素胚形成胚体，所述胚体包括多个柱状体；
烧结所述胚体，所述多个柱状体形成多个压电陶瓷柱；和
填充聚合物至所述多个压电陶瓷柱之间并固化形成超声波传感器。
2.如权利要求1所述的超声波传感器的制造方法，其特征在于，所述多块薄片的成分包括二氧化钛、二氧化锆、氧化铅或四氧化三铅。
3.如权利要求1所述的超声波传感器的制造方法，其特征在于，在所述提供多块薄片的步骤之前，所述超声波传感器的制造方法还包括步骤：
制备浆料。
4.如权利要求1所述的超声波传感器的制造方法，其特征在于，所述多块薄片的成型方式为流延成型。
5.如权利要求1所述的超声波传感器的制造方法，其特征在于，在切割所述素胚形成胚体的步骤之前，所述超声波传感器的制造方法还包括步骤：
等静压处理所述素胚。
6.如权利要求1所述的超声波传感器的制造方法，其特征在于，所述切割所述素胚形成胚体包括以下步骤：
沿第一方向切割所述素胚；
沿第二方向切割所述素胚，所述第一方向与所述第二方向垂直。
7.如权利要求1所述的超声波传感器的制造方法，其特征在于，在烧结所述胚体的步骤之前，所述超声波传感器的制造方法还包括步骤：
排出有机物。
8.如权利要求1所述的超声波传感器的制造方法，其特征在于，所述烧结温度范围为1100摄氏度～1400摄氏度。
9.如权利要求1所述的超声波传感器的制造方法，其特征在于，所述聚合物包括聚乙烯、聚四氟乙烯或聚酰亚胺中的任意一种或多种。
10.如权利要求1所述的超声波传感器的制造方法，所述胚体包括多个压电陶瓷柱及与所述多个压电陶瓷柱底端连接的一底座，其特征在于，填充聚合物至所述多个压电陶瓷柱之间并固化的步骤包括步骤：
打磨所述底座。
11.如权利要求1所述的超声波传感器的制造方法，其特征在于，填充聚合物至所述多个压电陶瓷柱之间并固化的步骤包括步骤：
打磨所述胚体。
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