[发明专利]超声波传感器的制造方法

说明书

本发明公开一种超声波传感器的制造方法。所述超声波传感器的制造方法包括步骤：提供多块薄片；堆叠所述多块薄片形成素胚；切割所述素胚形成胚体，所述胚体包括多个柱状体；烧结所述胚体，所述多个柱状体形成多个压电陶瓷柱；填充聚合物至所述多个压电陶瓷柱之间并固化形成超声波传感器。上述超声波传感器的制造方法，先切割素胚，再烧结成型形成压电陶瓷柱，切割由多块薄片形成的素胚不易产生裂纹，有效的提高了切割效率，节省原材料，降低成本，简化工艺。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，特别涉及一种超声波传感器的制造方法。

背景技术

超声波换传感器可采用1-3型复合压电材料制成，1-3型复合压电材料成型过程中，可先烧结形成陶瓷块，然后切割陶瓷，再填充聚合物形成1-3型复合压电材料，其中由于陶瓷较脆，导致切割陶瓷过程中易产生裂纹，陶瓷切割效率低。

发明内容

本发明实施方式提供一种超声波传感器的制造方法。

本发明实施方式的超声波传感器的制造方法，包括步骤：

提供多块薄片；

堆叠所述多块薄片形成素胚；

切割所述素胚形成胚体，所述胚体包括多个柱状体；

烧结所述胚体，所述多个柱状体形成多个压电陶瓷柱；和

填充聚合物至所述多个压电陶瓷柱之间并固化形成超声波传感器。

在某些实施方式中，所述多块薄片的成分包括二氧化钛、二氧化锆、氧化铅或四氧化三铅。

在某些实施方式中，在所述提供多块薄片的步骤之前，所述超声波传感器的制造方法还包括步骤：

制备浆料。

在某些实施方式中，所述多块薄片的成型方式为流延成型。

在某些实施方式中，在切割所述素胚形成胚体的步骤之前，所述超声波传感器的制造方法还包括步骤：

等静压处理所述素胚。

在某些实施方式中，所述切割所述素胚形成胚体包括以下步骤：

沿第一方向切割所述素胚；

沿第二方向切割所述素胚，所述第一方向与所述第二方向垂直。

在某些实施方式中，在烧结所述胚体的步骤之前，所述超声波传感器的制造方法还包括步骤：

排出有机物。

在某些实施方式中，所述烧结温度范围为1150摄氏度～1300摄氏度。

在某些实施方式中，所述聚合物包括聚乙烯、聚四氟乙烯或聚酰亚胺中的任意一种或多种。

在某些实施方式中，所述胚体包括多个压电陶瓷柱及与所述多个压电陶瓷柱底端连接的一底座，填充聚合物至所述多个压电陶瓷柱之间并固化的步骤包括步骤：

打磨所述底座。

在某些实施方式中，填充聚合物至所述多个压电陶瓷柱之间并固化的步骤包括步骤：

打磨所述胚体。

本发明实施方式的超声波传感器的制造方法，先切割素胚，再烧结成型形成压电陶瓷柱，切割由多块薄片形成的素胚不易产生裂纹，有效的提高了切割效率，节省原材料，降低成本，简化工艺。

本发明实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明