[发明专利]一种基于托盘的晶圆定位方法及系统

摘要

本发明涉及半导体制作工艺技术领域，具体涉及一种基于托盘的晶圆定位方法及系统，其中，一种基于托盘的晶圆定位方法，包括：获取预制的托盘位置数据及容纳所述晶圆的凹槽位置数据；根据所述托盘位置数据和所述凹槽位置数据形成标准数据组；获取匹配所述托盘及所述晶圆当前状态的检测信号，并形成一检测数据组；根据所述检测数据组结合所述标准数据组对所述检测数据组做卷积处理并形成卷积处理图；根据第一预定标识数据、和第二预定标识数据于所述卷积处理图中获取一卷积极值；根据所述卷积极值形成匹配所述晶圆位置的定位数据，并根据所述定位数据获取所述晶圆的位置数据。

主权项

1.一种基于托盘的晶圆定位方法，其特征在于，包括：获取预制的托盘位置数据及容纳所述晶圆的凹槽位置数据；根据所述托盘位置数据和所述凹槽位置数据形成标准数据组；获取匹配所述托盘及所述晶圆当前状态的检测信号，根据所述检测信号计算形成一参考数据，根据所述参考数据形成一预估采集点、以及预估采集点总量；获取每个预估采集点当前的检测数据；根据每个预估采集点当前的所述检测数据结合预定算法计算每个预估采集点的转速，并根据每个预估采集点这的转速形成一转速曲线；于所述转速曲线中读取转速曲线极值，根据所述转速曲线极值形成实际采集点、实际采集点总量；获取转速曲线最大值、转速曲线最小值，根据转速曲线最大值、转速曲线最小值计算形成第一中心点、第二中心点；根据所述第一中心点、第二中心点对所述转速曲线做分割聚类处理形成第一聚类图、第二聚类图；对所述第一聚类图、所述第二聚类图做二值化处理，根据二值化处理后的所述第一聚类图、所述第二聚类图形成所述检测数据组；根据所述检测数据组结合所述标准数据组对所述检测数据组做卷积处理并形成卷积处理图；根据第一预定标识数据和第二预定标识数据于所述卷积处理图中获取一卷积极值；其中，所述第一预定标识数据为所述托盘的旋转对称角度；所述第二预定标识数据为所述的托盘的漂移角度；根据所述卷积极值形成匹配所述晶圆位置的定位数据，并根据所述定位数据获取所述晶圆的位置数据；具体包括：根据所述卷积极值于所述标准数据组中读取与所述卷积极值匹配的标准数据；根据所述标准数据形成匹配所述晶圆位置的定位数据。