[发明专利]一种梯度递减结构防液涂层的制备方法

摘要

一种梯度递减结构防液涂层的制备方法，属于等离子化学气相沉积技术领域。该方法中：首先将基材置于等离子体室的反应腔体内，对反应腔体连续抽真空，将反应腔体内的真空度抽到10‑200毫托，通入惰性气体或氮气；其次同时通入第一单体蒸汽、第二单体蒸汽、第三单体蒸汽；开启等离子体放电，进行化学气相沉积；放电结束，关闭等离子体电源，停止通入第一单体蒸汽、第二单体蒸汽、第三单体蒸汽，持续抽真空，保持反应腔体真空度为10‑200毫托1‑5min后通入大气至一个大气压，然后取出基材即可。本发明通过同时通入单体蒸汽，并控制单体蒸汽的流量以不同的速率递减，制得的涂层结构韧性硬度为梯度变化，可降低应力开裂、变形，同时拥有较好的阻隔防护性能。

主权项

1.一种梯度递减结构防液涂层的制备方法，其特征在于：主要包括以下步骤：(1)将基材置于等离子体室的反应腔体内，对反应腔体连续抽真空，将反应腔体内的真空度抽到10‑200毫托，通入惰性气体或氮气；(2)同时通入第一单体蒸汽、第二单体蒸汽、第三单体蒸汽，开启等离子体放电，进行化学气相沉积；所述第一单体蒸汽为：单官能度不饱和氟碳树脂；所述第二单体蒸汽为：多官能度不饱和烃类衍生物；所述第三单体蒸汽为：多官能度不饱和烃类衍生物；所述通入第一单体蒸汽的流量为10‑1000μL/min；所述通入第二单体蒸汽的初始流量为30‑500μL/min；所述第二单体蒸汽通入流量递减，递减速率为1‑10μL/min；所述通入第三单体蒸汽的初始流量为30‑500μL/min；所述第三单体蒸汽通入流量递减，递减速率为1‑10μL/min；所述多官能度不饱和烃类衍生物包括：乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、二缩三丙二醇二丙烯酸酯、二乙烯苯、聚乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二乙烯基醚、1,6‑己二醇二丙烯酸酯、二丙烯酸乙二醇酯、二乙二醇二乙烯基醚或二丙烯酸新戊二醇酯；(3)放电结束，关闭等离子体电源，停止通入第一单体蒸汽、第二单体蒸汽、第三单体蒸汽，持续抽真空，保持反应腔体真空度为10‑200毫托1‑5min后通入大气至一个大气压，然后取出基材即可。