[发明专利]一种利用调制高功率脉冲磁控溅射制备AlTiN硬质涂层的方法在审
| 申请号： | 201710020783.3 | 申请日： | 2017-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN106868450A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 周晖;郑军;王启民;贵宾华;张延帅;杨拉毛草;桑瑞鹏;赵栋才 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司11249 | 代理人： | 钟国 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开一种利用调制高功率脉冲磁控溅射制备AlTiN硬质涂层的方法，该方法包括抽真空、基体除气、基体清洗和在基体上溅射沉积AlTiN硬质涂层，其特点在于，在基体上溅射AlTiN硬质涂层的工艺参数如下调制高功率脉冲电源的放电电压300～600 V，频率100～300Hz，峰值电流100～300 A，峰值电压400～800V；靶材的成分为Al 60～70 at.%，余量为Ti；氮气流量为100～300sccm；基体负偏压50～200V。与传统电弧离子镀技术相比，该方法制备的AlTiN涂层具有表面光滑、组织致密、力学性能优异等优点，具有良好应用前景的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 调制 功率 脉冲 磁控溅射 制备 altin 硬质 涂层 方法 | ||
【主权项】：
一种利用调制高功率脉冲磁控溅射制备AlTiN硬质涂层的方法，包括抽真空、基体除气、基体清洗和在基体上溅射沉积AlTiN硬质涂层，其特征在于，在基体上溅射AlTiN硬质涂层的工艺参数如下：调制高功率脉冲电源的放电电压300～600 V，频率100～300Hz，峰值电流100～300 A，峰值电压400～800V；靶材的成分为：Al 60～70 at.%，余量为Ti；氮气流量为100～300sccm；基体负偏压：50～200V。
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