[发明专利]MEMS麦克风以及电子设备有效
| 申请号： | 201680087538.8 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN109565634B | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R7/02 | 分类号： | H04R7/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 石伟 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风以及电子设备。该MEMS麦克风包括：压力感测元件，所述压力感测元件用于感测施加于其上的压力；附着到所述压力感测元件的振膜，所述振膜用于向所述压力感测元件施加压力；以及附着到所述压力感测元件的背骨，所述背骨用于支撑所述压力感测元件。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，包括：压力感测元件，所述压力感测元件用于感测施加于其上的压力；附着到所述压力感测元件的振膜，所述振膜用于向所述压力感测元件施加压力；以及附着到所述压力感测元件的背骨，所述背骨用于支撑所述压力感测元件。
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