[发明专利]缺陷检查装置有效
| 申请号： | 201680081653.4 | 申请日： | 2016-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN108603851B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 长谷川正树;小贯胜则;兼冈则幸;村越久弥;尾方智彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供能够实现潜伤等的高精度检测或者潜伤等的高速检测等的缺陷检查装置。为了实现该目的，提出了一种缺陷检查装置，其具备：试样支承部件，其对从电子源释放出的电子束所照射的试样进行支承；负电压施加电源，其用于形成针对上述电子束的减速电场，该电子束照射到由该试样支承部件支承的试样；摄像元件，其对由于上述减速电场而未到达上述试样就反射了的电子进行成像；紫外光源，其向上述试样照射紫外光；以及运算处理装置，其对基于由上述摄像元件得到的信号来生成的图像进行处理，该运算处理装置基于至少在两个照射条件下照射上述紫外光时得到的多个图像信号，判定上述试样的缺陷的种类。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检查装置，其特征在于，该缺陷检查装置具备：试样支承部件，其对从电子源释放出的电子束所照射的试样进行支承；负电压施加电源，其用于形成针对上述电子束的减速电场，该电子束照射到由该试样支承部件支承的试样；摄像元件，其对由于上述减速电场而未到达上述试样就反射了的电子进行成像；紫外光源，其向上述试样照射紫外光；以及运算处理装置，其对基于由上述摄像元件得到的信号而生成的图像进行处理，该运算处理装置基于在至少两个照射条件下照射上述紫外光时得到的多个图像信号，来判定上述试样的缺陷的种类。
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