[发明专利]一种制备二维材料的方法有效

专利信息
申请号: 201680060332.6 申请日: 2016-07-01
公开(公告)号: CN108474134B 公开(公告)日: 2022-03-22
发明(设计)人: S·C·S·托马斯 申请(专利权)人: 帕拉格拉夫有限公司
主分类号: C30B25/10 分类号: C30B25/10;C23C16/24;C23C16/26;C30B25/16;C30B29/02;C30B29/06;C30B29/60
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 蔡胜有
地址: 英国彼*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种制备石墨烯或其他二维材料(如石墨烯)的方法,包括将保持在反应室内的衬底加热到其温度处于前体分解温度范围内并且允许由从分解的前体释放出的物质形成二维晶体材料;建立朝前体入口并远离衬底表面延伸的陡峭的温度梯度(优选大于1000℃/米)并经过相对较冷的入口横跨温度梯度将前体引入衬底表面。陡峭的温度梯度确保前体基本上保持冷却直至其靠近衬底表面,从而使前体在接近衬底表面之前的分解或其他反应为最小化。前体入口和衬底之间的间距小于100mm。
搜索关键词: 一种 制备 二维 材料 方法
【主权项】:
1.一种制备二维晶体材料的方法,所述方法包括:在反应腔室内提供具有成核位点的衬底;在前体进入点处将前体引入反应腔室中,所述前体是气态和/或悬浮于气体中;将衬底加热到其温度处于前体分解温度范围内并且允许由分解的前体释放出的物质形成二维晶体材料;其特征在于:冷却前体进入点。
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