[发明专利]微流体风扇

摘要

公开了一种用于控制气态流体的流动的装置(1)。该装置包括第一电极(10，110)和在流动的下游方向上偏离第一电极的第二电极(20，120)。电极可连接到电压源。导热凸缘(30)布置成在平行于流动的方向的平面中延伸并且适于从气态流体中散发热量。第一电极的至少一部分在与流动的方向平行的方向上具有最大高度且在与流动方向正交的方向上具有最大宽度，其中，所述最大高度大于所述最大宽度，以提高装置的泵送效率。还公开了一种用于制造该装置的方法以及一种借助于该装置来控制流体流动的方法。

主权项

一种用于控制气态流体的流动的装置(1)，包括：第一电极(10)；第二电极(20)，其中，所述第二电极的至少一部分在所述流动的下游方向上偏离所述第一电极的至少一部分，所述电极可连接到电压源；和至少一个导热凸缘(30)，所述至少一个导热凸缘在沿着所述流动的方向取向的平面中延伸并适于散发来自所述气态流体的热量；其中：所述第一电极的至少一部分在与所述流动的方向平行的方向上具有最大高度(h1)并且在与所述流动的方向正交的方向上具有最大宽度(w1)，其中，所述最大高度大于所述最大宽度。