[发明专利]等离子体阻抗匹配单元、用于向等离子体负载供应RF能量的系统、以及向等离子体负载供应RF能量的方法有效
| 申请号： | 201680026033.0 | 申请日： | 2016-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN107980169B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | W·格拉泽克;R·布吉 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H03H7/38 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆涛 |
| 地址： | 波兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 等离子体能量供应系统(10、100)的等离子体阻抗匹配单元(13)包括a.第一能量连接器(40)，将匹配单元(13)耦接至能量源(11)，b.第二能量连接器(41)，将匹配单元(13)耦接至等离子体负载(20)，c.数据链接接口装置(45)，经由数据链接装置(48)将阻抗匹配单元(13)直接耦接至等离子体能量供应系统(10、100)的另一等离子体阻抗匹配单元(14)，d.控制器(42)，控制器被构造成控制匹配单元(13)，从而使得来自第一能量连接器(40)的阻抗与第二能量连接器(41)的阻抗匹配，其中e.控制器(42)被构造成作为针对等离子体能量供应系统(10、100)的至少一个其它阻抗匹配单元(14)和/或至少一个RF能量源(11、12)的管理器操作，其中控制器(42)被构造成经由数据链接接口装置(45)与等离子体能量供应系统(10、100)的其它阻抗匹配单元(14)和/或RF能量源(11、12)通讯。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 阻抗匹配 单元 用于 负载 供应 rf 能量 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种用于等离子体能量供应系统(10、100)的等离子体阻抗匹配单元(13)，包括a.第一能量连接器(40)，用于将所述匹配单元(13)耦接至能量源(11)，b.第二能量连接器(41)，用于将所述匹配单元(13)耦接至等离子体负载(20)，c.数据链接接口装置(45)，用于经由数据链接装置(48)将所述阻抗匹配单元(13)直接耦接至所述等离子体能量供应系统(10、100)的另一等离子体阻抗匹配单元(14)，d.控制器(42)，所述控制器被构造成控制所述匹配单元(13)，从而使得来自所述第一能量连接器(40)的阻抗与所述第二能量连接器(41)的阻抗匹配，其中e.所述控制器(42)被构造成作为针对所述等离子体能量供应系统(10、100)的至少一个其它阻抗匹配单元(14)和/或至少一个RF能量源(11、12)的管理器操作，其中所述控制器(42)被构造成经由所述数据链接接口装置(45)与所述等离子体能量供应系统(10、100)的其它阻抗匹配单元(14)和/或RF能量源(11、12)通讯，f.以使得所述等离子体阻抗匹配单元(13)能够决定哪个等离子体阻抗单元执行阻抗匹配以及哪个阻抗匹配单元不执行阻抗匹配。
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